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            1. 首页    研磨分析测控    OLAM-F11在线研磨分析测控仪
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              OLAM-F11在线研磨分析测控仪

              用于晶片研磨时的在线实时频率测控和数据分析,实现对研磨工序的高效管控。

              高效的晶片在线研磨过程控制

               

              —传统的研磨控制器,控制精度较低,多盘研磨时各盘中心频率离散较大。

              —OLAM-F11,实现研磨过程中频率的在线精密测量,真正做到?;涂墒樟?,实现更少的作业员管理更多的研磨机;

                高频表现比传统方法尤为稳定。

               

              超凡高效

               

              —拥有超高采样频率以及响应速率,可应对5.5—80MHz产品要求。

              —无需中途抽测再补磨,?;纯墒樟?,有效降低对作业员的技能要求。

              —多盘研磨比传统控制方式盘间离散性降低50%,有效提升后制程效率,降低成本。

               

              提升管控

               

              —可连接MES系统,通过局域网下传生产工单。

              —可连接条码枪扫描工单,与局域网下传到OLAM的工单信息进行核对,保障加工正确。

              —实时记录和显示研磨速率及盘内离散状态,用户可制定规范,优化制程。

              —全程自动记录并存储仪器的操作以及参数设置状态,可追溯整个加工过程。

              —可输出生产数据,提供对研磨变量的综合智能化管控与分析的依据。

              —数据可通过局域网上传至服务器或存储至本机SD卡。

               

              校准补偿

               

              针对不同研磨环境,可在人工输入足够多的修正点后,提供函数拟合工具进行全频段拟合校准,使全频段测试更加精确。

               

              可输出内容

               

              —实时研磨频率

              —实时谐振频率

              —实时单片和整盘散差

              —谐振频率变化图

              —整盘散差变化图

              —历史操作记录

              —异常状态提示

               

              工作原理

               

              研磨机启动后,OLAM扫描探测信号频率,信号经过探头耦合到上磨盘电极,当电极滑动到石英晶片上方时,检测电路依据“动态搜索算法”找到晶片的有效谐振波形,并根据最大传输法原理得到晶片的实时谐振频率平均值,当平均值达到目标频率后,仪器发出关停指令,使研磨机?;?。

               

              安全机制

               

              1. 初始频率异常:开始进入研磨程序后,若检测到实时频率和输入的初始频率不符合时,将?;ň?。

              2. 速率阈值异常:当实时研磨速率超过或小于设定范围时,将?;ň?。

              3. 散差阈值异常:当散差与设定范围不符时,将弹出警示窗口。

              4. 频率跟踪异常:当实时频率跟踪异常时,将弹出警示对话框或?;ň?。

              5. 圈数传感器异常:OLAM在研磨或修盘状态下,如果超过设定的时间没有圈数信号进入,将?;ň?。

              6. ?;斐#悍⒊鐾;刂菩藕藕蠡魑赐?,将报警。

              7. 接入异常:研磨机控制接口未与OLAM可靠连接,将报警。

              8. 权限管理:可设置不同的管理权限,防止参数误修改。

               

              技术参数

               

              外形尺寸(长宽高)

              345*320*165mm

              重量

              7.5kg

              操控界面

              7英寸触控屏

              适合晶片切型

              AT

              探测输入

              全频段探头

              动态测频范围

              5.5-80MHz

              动态测频精度

              <0.2%  2000ppm

              动态测频速度

              250Hz Max

              数据传输

              以太网和SD存储卡

               

               

               

               

               

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